- Liittynyt
- 14.10.2016
- Viestejä
- 22 756
Japanin High Energy Accelerator Research Organization eli KEK tutkii Energy Recovery Linear Acceletor -hiukkaskiihdyttimen (ERL) luomien vapaaelektronilasereiden (FEL, Free-Electron Laser) hyödyntämistä EUV-valonlähteenä.
Tutkijoiden mukaan sillä voitaisiin tuottaa helposti kymmenien kilowattien edestä EUV-säteilyä, kun ASML on saanut tähän mennessä tuotettua 500 watin EUV-valonlähteitä ja uskoo saavuttavansa ennemmin tai myöhemmin 1000 watin tason. Yhdellä kiihdyttimellä voitaisiinkin tutkijoiden mukaan hoitaa useamman valotuslaitteiston valonlähteen tehtävät.
Lähde: Japanese researchers testing particle accelerator for chipmaking — researchers claim EUV-like lithography capabilities
Tutkijoiden mukaan sillä voitaisiin tuottaa helposti kymmenien kilowattien edestä EUV-säteilyä, kun ASML on saanut tähän mennessä tuotettua 500 watin EUV-valonlähteitä ja uskoo saavuttavansa ennemmin tai myöhemmin 1000 watin tason. Yhdellä kiihdyttimellä voitaisiinkin tutkijoiden mukaan hoitaa useamman valotuslaitteiston valonlähteen tehtävät.
Lähde: Japanese researchers testing particle accelerator for chipmaking — researchers claim EUV-like lithography capabilities